氦检漏仪是使用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，完成被检件的氦泄露量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄露出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在取得氦气信号值的基础上，经过规范漏孔比对的办法就能够取得漏孔对氦泄露量，从而进行真空法氦检漏仪维修。
 

　　选用真空法氦检漏仪维修时，需要使用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的办法在被检产品外外表施氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会经过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而完成被检产品泄露量测量。依照施漏气体办法的不同，又能够将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其间真空喷吹法选用喷枪的方法向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确定位;真空氦罩法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充溢必定浓度的氦气，能够完成被检产品总漏率的测量。

　　真空法氦检漏仪维修的优点是检测灵敏度高，能够准确定位，能完成大容器或复杂结构产品的检漏。