氦检漏仪维修是一个专业且细致的过程，需要对设备的结构和工作原理有深入的了解。

　　

　　一、机械泵故障处理

　　

　　1、不动作问题：检查电源电压、开关状态、绕组是否断路或接地，以及电机是否过热。

　　

　　2、声音异常问题：检查油位、油质和油温，确保油雾过滤器正常工作。

　　

　　二、分子泵故障处理

　　

　　1、TMP显示“0”：检查前级压力、真空规管、机械泵油和系统泄漏情况，以及叶片或转子是否损坏。

　　

　　2、加速指示灯不亮：更换保险丝或检查是否有短路现象。

　　

　　3、故障灯亮：检查电路板设置开关位置和风扇运行状态。

　　

　　三、质谱室故障处理

　　

　　1、灯丝无法启动：在确认机械泵和分子泵正常工作后，若灯丝仍无法发射离子流，则需更换离子源。

　　

　　2、本底信号异常：考虑放大器是否故障，通常用户无法解决，需交由专业维修处理。

　　

　　四、检测开始时故障处理

　　

　　检漏键无效：检查灯丝是否启动，以及I/O短接插头是否正确连接。

　　

　　五、自动校准结束故障处理

　　

　　自动校准失败：检查自动校准设置、温度传感器连接和灵敏度，必要时清洗质谱室。

　　

　　六、检漏时故障处理

　　

　　1、不转换至细检方式：检查检漏口压力和粗检指示灯状态。

　　

　　2、灵敏度低：检查三极规所测压力和离子源污染情况。

　　

　　3、氦本底太高：检查机械泵油、系统泄漏、真空管路污染和环境因素。

　　

　　总的来说，氦检漏仪维修是一个涉及多个方面的复杂过程，需要专业知识和技术。通过正确的故障诊断和专业的维修服务，可以有效恢复设备的功能，延长使用寿命。用户在选择维修服务时，应考虑服务商的专业性和服务质量，以确保设备的稳定可靠运行。